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        基于表面活化鍵合技術的聲子介導的集總元件動態電感探測器的開發
        
		
        
		
        《IEEE Transactions on Applied Superconductivity》：Development of Phonon-mediated Lumped Element Kinetic Inductance Detectors with Surface Activated Bonding
        
        
        
            
            【字體：
            大 
            中 
            小 
            】
            
            時間：2026年02月24日
            來源：IEEE Transactions on Applied Superconductivity 1.8
        
        
        
        
        
        
        	
        
            	
        編輯推薦：
        
                
        
                　　提出基于 stoichiometric lithium niobate (sLN) 各向異性聲傳播特性的新型聲子介導集總動量檢測器（LEKIDs），采用表面激活鍵合（SAB）技術實現電極與 sLN 基板的空間隔離，有效抑制品質因數 Q 損耗（提升約1000倍），并通過241Am α 射線輻照實驗驗證了聲子響應特性。
                
        
				
        
					
        
				
        
            
        
            
			
        
        
        
        
        　　
        摘要：
        我們提出了一種新型的聲子介導的集總元件動態電感探測器（LEKIDs），該探測器利用了化學計量比的鋰鈮酸鹽（sLN）的各向異性聲子傳播特性。由于sLN具有很強的壓電性，會導致顯著的微波損耗，因此我們采用了表面活化鍵合（SAB）技術將LEKID電極與sLN基底在空間上分離，從而實現了較高的品質因數（Q）。仿真和實驗結果表明，這種分離方式顯著抑制了品質因數的下降。LEKIDs制造在藍寶石基底的正面，而sLN則通過SAB技術粘合在基底背面。與直接在sLN上制造的器件相比，我們的器件品質因數提高了約1000倍。此外，我們還使用241Am放射源觀察到了LEKIDs對α射線輻照的聲子響應。這些結果展示了利用SAB技術的聲子介導探測器的潛力。
        
        
        
		
        
        
        	
          
        		
        	
        
        
        

		
        
		
        

        
        
        	
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