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        通過10通道并行外圍光抑制技術實現的高通量、亞衍射極限雙光子聚合直接激光寫入

        《Laser & Photonics Reviews》:High-Throughput Sub-Diffraction-Limited Two-Photon Polymerization Direct Laser Writing via 10-Channels Parallel Peripheral Photoinhibition

        【字體: 時間:2026年02月26日 來源:Laser & Photonics Reviews 10

        編輯推薦:

          雙光子聚合直接激光寫入技術通過10通道并行周邊光抑制實現亞衍射極限3D納米打印,將懸空納米絲尺寸縮小至X納米并提升至Y voxels/s的打印速度,在光子器件、生物醫(yī)學界面和超材料制造中具有應用潛力。

          

        摘要

        雙光子聚合直接激光寫入(TPP-DLW)技術實現了完全的3D納米制造,并在光學元件、生物醫(yī)學設備和先進功能材料方面相比傳統(tǒng)光刻技術具有明顯優(yōu)勢。然而,制造精度和吞吐量仍然是關鍵瓶頸。針對這些挑戰(zhàn),本文提出了一種10通道并行外圍光抑制直接激光寫入技術,稱為-DLW,該技術能夠實現亞衍射極限的3D納米打印,同時縮小特征尺寸并提高吞吐量。通過結合使用3D空心聚焦技術和外圍光抑制(PPI)技術,所制造的懸浮納米線的特征尺寸從納米減小到納米。借助快速且并行的掃描方式,-DLW系統(tǒng)在實驗中可實現每秒高達個體素的最大打印速度,同時保持高精度、高吞吐量和設計靈活性。這項工作為高精度、高吞吐量的3D納米打印建立了一個可擴展的平臺,為光子系統(tǒng)、生物醫(yī)學接口和工程超材料的器件制造提供了可行的途徑。

        利益沖突

        作者聲明沒有利益沖突。

        數據可用性聲明

        支持本研究結果的數據可向通訊作者提出合理請求后獲得。

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